セーフティ漏液センサ SQ4 水漏れを想定した実験動画
SQ４シリーズは１台で初期漏液(警報)と異常漏液(緊急停止)を２段階で検知できるセーフティ漏液センサです。 初期漏液を検知することで、突発的な装置の停止を避けることができ、生産性を維持しながら、設備安全を容易に得ることができます。
冷却水や薬液の漏液検知など、半導体製造装置に最適な3種の漏液センサをご紹介します。
装置環境・ご要望に合わせた 3種類の漏液センサ
用途に合わせて設計された 商品の特長をご紹介します
設置スペースが限られる
アンプ内蔵リークセンサ EX-F60 SERIES
 漏液センサ唯一の縦薄型形状 |
| シンプル形状で復旧作業が簡単！ |
最大8台を省配線ユニットに接続可能！ |
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すぐに装置停止したくない
セーフティ漏液センサ SQ4 SERIES
| 2段階検知で仕掛品の不良を低減 |
アンプ内蔵リークセンサ EX-F60 S
| 確かな信頼性で設備安全の構築に貢献 |
防爆環境で使用したい
漏液検出ファイバセンサ FD-F71
| 防爆エリアの漏液検知ならこの一択！ |
| 取り回し自在でフレキシブルな設置 |
ぜひ一度 パナソニック インダストリーの漏液センサを
ご検討ください！