半導体製造 前工程の漏液に ２段階検知で歩留まり激変‼
業界ONLY1* の２段階の漏液検知で半導体製造 前工程の歩留まり改善に貢献するセーフティ漏液センサSQ4シリーズのご紹介です。 *2024年6月 当社調べ
SQ４シリーズは１台で初期漏液(警報)と異常漏液(緊急停止)を２段階で検知できるセーフティ漏液センサです。 初期漏液を検知することで、突発的な装置の停止を避けることができ、生産性を維持しながら、設備安全を容易に得ることができます。
関連商品
セーフティ漏液センサ [制御カテゴリ4 PLe SIL3]
SQ4
- 生産性を向上する2段検知
- 初期漏液（警報）と異常漏液（緊急停止）、状態別に2段検知
- 安全認証を取得。最高水準の安全性能を実現
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