| 内 容 | 工数やコストをかけずにロードポートの扉の安全対策がしたい。 |
| 課 題 |
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半導体製造装置業界では？
●業界全体で安全意識が高まり審査が厳格化
改めてリスクアセスメントをしてみると？
| 作業者と接する頻度の高いロードポートやEFEMで パフォーマンスレベルを算出し、リスクにあった 制御システムの設計が必要！ |
半導体 FOUP工程において、こんな悩みはありませんか？
（例）ロードポートで万が一FOUPが無いのに有ると誤検知して扉が開いてしまうと
ロボットが飛び出し作業者に衝突するリスクがある…
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そこで…
安全システムを構築できる2種類の小型センサ |
| アンプ内蔵・コの字型 マイクロフォトセンサ PM-25/45 SERIES |
極薄型 ビームセンサ EX-10 SERIES |
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| 安全規格に適合しているから PL算出に必要なパラメータが明確で算出も簡単！ |
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| 制御カテゴリ4、PLe適合のコントローラとの組み合わせで 制御カテゴリ3、PLdの構築も容易 |
小さくてどこにでも取り付くので、大幅な装置改造が不要！
| アンプ内蔵・コの字型 マイクロフォトセンサ PM-25/45 SERIES |
極薄型 ビームセンサ EX-10 SERIES |
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だから、ロードポートの扉の開閉確認には
PM-25/45, EX-10 SERIES がおすすめ
使用機種｜PM-25/45, EX-10
| センサ単体で安全規格適合 | パフォーマンスレベルの算出が容易に可能。 |
| 省スペース | セーフティセンサより小型で設計変更が容易。 |
| 低コスト | 汎用センサで安全構築が可能。 |
安全用途で使用する場合、使用可能な条件をご確認ください。
使用可能な条件
1. 装置内部に危険源があり、外部に危害が及ぶ
2. 制御カテゴリ3、PLd 以下の装置
3. 危険源との遮断が自動扉の装置
4. 扉の開閉を検出する用途で使用する
注）人体検知には使用できません。