レーザ・プラズマ・UV照射装置の自動扉開閉確認で安全システムを構築！
ISO13849-1（制御カテゴリ1、PLc）適合の小型センサを用いた、レーザ・プラズマ・UV照射装置の自動扉開閉確認での安全システム構築についてご紹介します。
ISO13849-1(制御カテゴリ1、PLc)適合の小型センサを用いた、ロードポートの扉開閉確認での安全システム構築についてご紹介します。
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半導体製造装置業界では？
●業界全体で安全意識が高まり審査が厳格化
改めてリスクアセスメントをしてみると？
| 作業者と接する頻度の高いロードポートやEFEMで パフォーマンスレベルを算出し、リスクにあった 制御システムの設計が必要！ |
半導体 FOUP工程において、こんな悩みはありませんか？
（例）ロードポートで万が一FOUPが無いのに有ると誤検知して扉が開いてしまうと
ロボットが飛び出し作業者に衝突するリスクがある…
FOUPの着座確認・扉の開閉確認用センサが必要
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そこで…
 簡単・省スペース・低コストに安全システムを構築できる2種類の小型センサ |
| アンプ内蔵・コの字型 マイクロフォトセンサ PM-25/45 SERIES |
極薄型 ビームセンサ EX-10 SERIES |
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安全規格に適合しているから PL算出に必要なパラメータが明確で算出も簡単！ |
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制御カテゴリ4、PLe適合のコントローラとの組み合わせで 制御カテゴリ3、PLdの構築も容易 |
小さくてどこにでも取り付くので、大幅な装置改造が不要！
| アンプ内蔵・コの字型 マイクロフォトセンサ PM-25/45 SERIES |
極薄型 ビームセンサ EX-10 SERIES |
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だから、ロードポートの扉の開閉確認には
PM-25/45, EX-10 SERIES がおすすめ
使用機種｜PM-25/45, EX-10
ご注意
安全用途で使用する場合、使用可能な条件をご確認ください。
使用可能な条件
1. 装置内部に危険源があり、外部に危害が及ぶ
2. 制御カテゴリ3、PLd 以下の装置
3. 危険源との遮断が自動扉の装置
4. 扉の開閉を検出する用途で使用する
注）人体検知には使用できません。
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