| 内 容 | 継手からの漏液を検出したい。 |
| 課 題 | 従来の漏液センサは出力が1つのため ・少しの漏液でも直ちに装置全体を緊急停止しなければならない。 ・緊急停止させないためにセンサを2台使用して、設置を工夫しなければならない。 |
半導体 前工程において、こんな悩みはありませんか？
| プロセスの途中に装置停止することで大量のワーク廃棄が発生 |
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そこで…
| セーフティ漏液センサ SQ4シリーズで解決！ |
| ＼業界 Only1*／ 初期漏液（警報）と異常漏液（緊急停止）、状態別に2段検知 |
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| ＼業界 Only1*／ 安全規格に適合。最高水準の安全性能を実現 |
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| *2024年6月現在 当社調べ |
初期漏液
漏液センサで唯一、国際安全規格に適合
最高水準の安全性能を実現します
初期漏液と異常漏液 状態別の2段検知が可能
| ●今まで2台必要だった検知を1台で実現 |
| ●施工・配線も簡単に！ |
| ●安全規格に適合で高い信頼性 |