光電センサ 安全 半導体

半導体製造 前工程の漏液に　２段階検知で歩留まり激変‼

業界ONLY1* の２段階の漏液検知で半導体製造 前工程の歩留まり改善に貢献するセーフティ漏液センサSQ4シリーズのご紹介です。 *2024年6月 当社調べ

2024/6/24

 

BEFORE

 

内　容 継手からの漏液を検出したい。
   
課　題 従来の漏液センサは出力が1つのため
・少しの漏液でも直ちに装置全体を緊急停止しなければならない。
・緊急停止させないためにセンサを2台使用して、設置を工夫しなければならない。

 

半導体 前工程において、こんな悩みはありませんか？

 

従来の漏液センサを1台ご使用の場合

漏液を検出すると… プロセス途中に停止
  プロセスの途中に装置停止することで大量のワーク廃棄が発生

 

従来の漏液センサを2台ご使用の場合

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そこで…
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check! セーフティ漏液センサ
SQ4シリーズで解決！

 

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初期漏液（警報）と異常漏液（緊急停止）、状態別に2段検知
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安全規格に適合。最高水準の安全性能を実現
  *2024年6月現在 当社調べ

 

 

AFTER

 

初期漏液 警報 と異常漏液 緊急停止 で状態別の2段検知が可能

 

少量の初期漏液で警報出力（非安全出力）、異常漏液で緊急停止出力（安全出力） プロセス終了後にメンテナンス

さらに

 

漏液センサで唯一、国際安全規格に適合

 

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↓

最高水準の安全性能を実現します

 

 

SQ4シリーズ採用のメリット

初期漏液と異常漏液　状態別の2段検知が可能

●今まで2台必要だった検知を1台で実現
●施工・配線も簡単に！
●安全規格に適合で高い信頼性

 

実験動画をぜひご覧ください！

 

SQ4シリーズを詳しくみる

 
　

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  • 初期漏液（警報）と異常漏液（緊急停止）、状態別に2段検知
  • 安全規格に適合。最高水準の安全性能を実現
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SQ4シリーズ
　

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